第一屆「致茂精密機械與量測技術論文獎」從2021年8月開跑,主題涵蓋潔淨科技關鍵元件檢測技術、半導體元件或先進製程檢測技術、精密機械與控制技術、應用光學與影像檢測技術、機器學習應用於精密檢測或控制技術、5G/AIoT量測技術、量子電腦量測技術,共55篇論文投稿,歷經7個月時間,由來自產、官、學、研各界共26名評審委員審查評選出優秀論文獎,共頒出獎項15座,分別為金獎1座、銀獎2座、銅獎3座、佳作9座,總獎金80萬元。
金獎
振鏡掃描式全域彩色共焦表面形貌量測系統之研發
國立臺灣大學
機械所
周煜峰、陳泓叡
陳亮嘉
銀獎
影像式頻差閃爍光學顯微技術於超音波刀具振幅與振動模態量測
國立中興大學
劉庭榕、蘇怡萍
陳政雄
銀獎
以振動訊號進行塑膠射出成型機鎖模系統曲手軸潤滑狀態監測
崑山科技大學
Wani Morgan 摩根、Xux Ek' Azucena Novelo 娜薇蘿、蔡秉學、陳冠霖
朱孝業
銅獎
極紫外光譜橢圓偏振儀量測
國立清華大學
光電所
黃隆程、王子宇
陳明彰
銅獎
多形式即時加強曝光光彈理論及其設備之研發
國立清華大學
動力機械工程學系
郭瑋辰、張志皓
王偉中、宋泊錡
銅獎
以一新穎結合數位影像相關法及聚焦離子束環芯鑽孔與有限元素修正法檢測微奈米尺度薄膜製程殘留應力的量測方法
國立中興大學
精密工程研究所
張毓中、古唯佑、陳暐杰、李孟杰
林明澤、陳元方
佳作
高精度無光罩式微影系統開發
國立成功大學
機械系
苗庭瑄、許永昕
李永春
佳作
全反射共光程偏振干涉術之折射率量測技術
國立中央大學
機械工程學系
林宥均
李朱育
佳作
應用數位影像相關法於跨尺度動態問題量測與機械手臂之系統整合
國立臺灣大學
機械工程所
謝佳軒、李霽儒
馬劍清
佳作
運用搖臂-共軛焦感測器建立之半導體拋光墊表面動態量測系統
臺灣科技大學
李人傑
陳炤彰
佳作
細懸浮微粒(PM2.5)之個體三維構形:同步輻射X光影像之應用
中國醫藥大學
職業安全與衛生學系
陳婉怡、李帷嘉、王俐婷
楊禮豪
佳作
數位光學與黃光微影製程應用於滾筒模仁之製作
國立成功大學
機械所
蕭乃誠、曾怡鈞
李永春
佳作
基於偏振與干涉術之旋轉誤差量測技術
國立中央大學
機械工程學系
許敬澤
李朱育
佳作
以薄型黑光罩在曲面基板上製作 PCB 電路之製程檢測技術
國立成功大學
機械工程系
梁方虹
李永春
佳作
以振動訊號分析進行五模螺帽成型機的損壞預知監測之研究
崑山科技大學
Xux Ek' Azucena Novelo 娜薇蘿、Wani Morgan 摩根、蔡秉學、陳冠霖
朱孝業